ھالقىلىق كاتود: ئىئون كۆچۈرۈش سىستېمىسىدىكى ئېلېكترون نۇر چىرىغى ۋە مۇقىم تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ قىممىتى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئالاھىدە ئالاھىدە دۇنياسىدا ، ئاتوم - سەۋىيىدىكى ئېنىقلىق ھەر بىر مىكرو ئۆزەكنىڭ ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدۇ ، ئىئون كۆچۈرۈش ئۇل تاش جەريانى سۈپىتىدە تۇرىدۇ. ئۇ دوپپا ئاتومنى قەستەن كىرىمىنىي ۋاگونغا كىرگۈزۈپ ، ئۇنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىپ ، ترانسېنىستورنىڭ ئۇۋىسىنى شەكىللەندۈرىدىغان موھىم P - N ئۇلىنىش ھاسىل قىلىدۇ. گەرچە ئىئون لامپىنىڭ ئۆزى دىققەت قىلىشقا ئەرزىيدۇ ، ئەمما ئۇنىڭ ئەۋلادلىرى ئالدامچىلىق ئاددىي ، ئەمما چوڭقۇر ھالقىلىق تەركىب: ئېلېكترون نۇر دەستىسى. بۇ ئىسسىقلىق قويۇپ بەرگۈچى ئىئون مەنبەسىنىڭ مۇرەككەپ ئېلېكتر ۋاكۇئۇم زاپچاسلىرى ئىچىدىكى ئاساسلىق ئېلېكتر نۇر مەنبەسى قىسمى بولۇپ ، پۈتكۈل ئىئون كۆچۈرۈش جەريانىدىكى جىمجىت ، جۇشقۇن يۈرەك سوقۇشى رولىنى ئوينايدۇ.
بۇ ماقالە ئىئون كۆچۈرۈش ئۈسكۈنىسى ئىچىدىكى ئېلېكترون نۇر دەستىسىنىڭ كونكرېت رولى ، مەشغۇلاتتىكى خىرىسلىرى ۋە تەرەققىي قىلىۋاتقان تېخنىكىلىرىغا چوڭقۇر چۆكۈپ ، بۇ زاپچاسنىڭ نېمە ئۈچۈن زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فابا تەلەپ قىلغان ساپلىق ، مۇقىملىق ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى قولغا كەلتۈرۈشتە مۇھىم رول ئوينايدىغانلىقى ئۈستىدە ئىزدىنىدۇ. ئۇندىن باشقا ، ئۇ شىركەتلەر ياقتۇرىدىغان يۇقىرى - كىيىم-كېچەك بۇيۇملىرى ئۈچۈن ئىشەنچلىك تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ ئىنتايىن مۇھىملىقىنى گەۋدىلەندۈردىجۇجوۋ كىڭدون سانائەت ۋە سودا چەكلىك شىركىتى.يەرشارى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ ئۇدا تىجارىتىگە كاپالەتلىك قىلىشتا كەم بولسا بولمايدىغان رول ئوينايدۇ.
I. ئىئون كۆچۈرۈش مەزمۇنى: پاكلىق ، ئېنىقلىق ۋە ئالدىن پەرەز قىلىش تەلىپى
Ion implantationئىئونلاشتۇرۇلغان دوپپا ئاتوملىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ (بورون ، فوسفور ياكى ئارسېنغا ئوخشاش) ، ئۇلارنى يۇقىرى ئېنېرگىيىگە تېزلىتىدۇ ۋە كرېمنىينىڭ ئاستى قىسمىغا توغرىلايدۇ. بۇ جەريان يۇقىرى - ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا يۈز بېرىپ ، نۇرنىڭ چېچىلىشى ۋە ۋافېرنىڭ بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئىئوننىڭ ساياھىتى ئىئون مەنبەسىدىن باشلىنىدۇئېلېكتر ۋاكۇئۇم زاپچاسلىرىيەم-خەشەك گازىدىن پلازما ھاسىل قىلىش ، ئېلىش ۋە دەسلەپتە فوكۇس توغرىلاش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
ئىئون مەنبەسىدىكى يادرولۇق رىقابەت ئىككى خىل بولىدۇ: بىرىنچىسى ، بۇلغىنىشنى ئازايتىش بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئېھتىياجلىق دوپون ئىئون تۈرىنىڭ يۇقىرى قىسمى بىلەن قويۇق ، مۇقىم پلازما ھاسىل قىلىش. ئىككىنچىدىن ، پىلاننىڭ ئەڭ تۆۋەن ۋاقتى بىلەن نەچچە مىڭ سائەت مەشغۇلات جەريانىدا بۇ جەرياننىڭ تەكرارلىنىشى ۋە ئىشەنچلىك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش. بۇ ئېلىپ كېلىدۇئېلېكترون نۇر دەستىسى- چەكلىك ئۆمرى {{1} with ئىستېمال قىلىنىدىغان قىسمى ئىشلەپچىقىرىش پىلانى ۋە ئىگىدارلىق تەننەرخىدىكى ھالقىلىق ئامىل سۈپىتىدە ئۆتكۈر فوكۇس نۇقتىسىغا ئايلىنىدۇ.
II. ئېلېكترون نۇر دەستىسى: ئاساسلىق ئېلېكتر نۇر مەنبەسى سۈپىتىدە ئىقتىدار ۋە مېخانىزم
ئىئون مەنبە كامېرىنىڭ ئىچىدە ، ئىنچىكە ئىنچىكە ياسالغانئېلېكتر نۇر مەنبەسى قىسمىئېلېكترون بۇلۇت تارقىتىدۇ. ئادەتتە توڭ ئېرىتمىسى ياكى تانتالغا ئوخشاش كۈچلۈك سۇندۇرۇشچان مېتاللاردىن ياسالغان بولۇپ ، ئۇلارنىڭ يۇقىرى ئېرىتىش نۇقتىسى ۋە پايدىلىق ئېلېكترون قويۇپ بېرىش خۇسۇسىيىتى بولغاچقا ، بۇ فىلمېنت قارشىلىق بىلەن يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قىزىتىلىدۇ (كۆپىنچە 2200 گرادۇستىن ئېشىپ كېتىدۇ).
قۇۋۋەتلەنسە ، دەسلەپكى ئېلېكترونلارنىڭ كەلكۈن ئاپىتىنى قويۇپ بېرىدۇ. بۇ ئېلېكترونلار كۈچلۈك ئېلېكتر مەيدانى ئارقىلىق تېزلىتىلىپ ، كونترول قىلىنغانئېلېكترونلۇق نۇر. ئىئون مەنبەسى ئىچىدە ، بۇ لامپا كەم بولسا بولمايدىغان ئىككى ئىقتىدارنى ئورۇندايدۇ:
1. گازىنى ئىئونلاشتۇرۇش: يۇقىرى - ئېنېرگىيە ئېلېكترونلىرى نېيترال دوپپا گازى مولېكۇلاسى بىلەن سوقۇلۇپ ، ئېلېكترونلارنى تارتىۋېلىپ ، نۇر ئۈچۈن كېرەكلىك ئاكتىپ ئىئون ھاسىل قىلىدۇ.
2. فىلمېنتنىڭ قويۇپ بېرىش ئېقىمى پلازما زىچلىقىنى بىۋاسىتە كونترول قىلىدۇ ، بۇ ئۆز نۆۋىتىدە كۆچۈرگىلى بولىدىغان ئىئون نۇر ئېقىمىنى بەلگىلەيدۇ.
III. مەشغۇلات سىنارىيەسى ، كىيىنىش ۋە تەمىنلەشنىڭ مۇقىملىقىغا بولغان ئېھتىياج
خىلىت بولسا ئۇپراشنىڭ تەركىبىي قىسمى. ئۇنىڭ تەدرىجىي پارغا ئايلىنىشى ۋە پلازما ئۆز-ئارا تەسىردىن بۇلغىنىش پىلانلانغان ئالماشتۇرۇش دەۋرىنى بەلگىلەيدۇ. بۇ رېئاللىق مەشغۇلات سىنارىيەسىنى ئالدىن مۆلچەردىكى تەمىنلەشكە زور دەرىجىدە تايىنىدۇ:
يۇقىرى - نۆۋەتتىكى كۆچۈرۈش:يۇقىرى مىقداردا تەلەپ قىلىدىغان جەريانلار فىلمېنتنى ئۆزىنىڭ چېكىگە ئىتتىرىدۇ ، بۇلغىما قويۇپ بېرىشنى يۇقىرى تەلەپ قىلىدۇ ۋە تېز ئۇپراشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ خىل جەريانلارنى ئىجرا قىلىدىغان Fabs مۇقىم ، - يۇقىرى - سۈپەتلىك ئالماشتۇرۇش بىلەن تەمىنلەشنى تەلەپ قىلىدۇ.
تۆۋەن - ئېنېرگىيە ئېنىقلىق دەرىجىسى:مۇقىملىق ھەممىدىن مۇھىم. بۇلغىما قويۇپ بېرىشنىڭ ئۆزگىرىشى پلازما داۋالغۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، نۇرنىڭ بىردەكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. جەرياننى كونترول قىلىشتا ئىزچىل ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى ۋە گېئومېتىرىيەدىن تۈركۈمگە بۆلۈپ ئىشلىتىش كېرەك.
پىلانسىز ۋاقىتنى ئازايتىش:پىلانلانغان ئالماشتۇرۇشتىن ئىلگىرى ئىنچىكە مەغلۇبىيەت كۆچۈرگۈچىنى توختىتىدۇ. مەنبەنى چىقىرىش ، فىلەمنى ئالماشتۇرۇش ، پومپىنى تۆۋەنلىتىش ۋە قورالنى تەلەپ قىلىش ئۈچۈن كېرەكلىك ۋاقىت ئىنتايىن قىممەت. شۇڭلاشقا ، فابلار تەمىنلىگۈچىلەرگە تايىنىدۇ ، ئۇلار پەقەت بىرلا زاكازنىڭ سۈپىتىنىلا ئەمەس ، بەلكى ئۇزۇن - قەرەللىك ، ئىشەنچلىك فىلملارنىڭ مۇقىم تەمىنلىشىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ. بۇ قىسمەن كەمچىللىك سەۋەبىدىن ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ توختاپ قېلىش خەۋپىنى ئازايتىدۇ.
IV. ئالاھىدە تەمىنلىگۈچىلەرنىڭ رولى: جۇجوۋ كىڭدون سانائەت ۋە سودا چەكلىك شىركىتى.
بۇ يۇقىرى - پاي چېكى مۇھىتىدا ، ئىشەنچلىك ، تېخنىكىلىق ئىقتىدارلىق تەمىنلىگۈچىنىڭ قىممىتىنى مۆلچەرلىگىلى بولمايدۇ. جۇجۇ كىڭدون سانائەت ۋە سودا چەكلىك شىركىتىگە ئوخشاش شىركەتلەر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئېكولوگىيە سىستېمىسىدىكى مۇھىم شېرىكلەر سۈپىتىدە ئۆزىنى تىكلىدى. ئۇلارنىڭ رولى ئاددىي ياسىمىچىلىقتىن ھالقىپ كەتتى:
ئىزچىل سۈپەت ۋە ماتېرىيال ساپلىقى:ئۇلار قاتتىق ئۆلچەمدە ئىشلەنگەن ئېلېكترون نۇر دەستىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئىزچىل گېئومېتىرىيەلىك كەڭ قورساقلىق ، ماتېرىيال تەركىبى (مەسىلەن ، دوپپا تۇڭگان ياكى تانتال قېتىشمىسى) ۋە بۇلغىما قويۇپ بېرىش ئالاھىدىلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ئىزچىللىق جەرياننىڭ تەكرارلىنىشى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
مۇقىم ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى ۋە تەمىنلەش كاپالىتى:يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فابقا نىسبەتەن ئالدىن مۆلچەردىكى تەمىنلەش زەنجىرى قىسمەن سۈپەتكە ئوخشاشلا مۇھىم. ئىشەنچلىك تەمىنلىگۈچى يېتەرلىك ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى ۋە خام ئەشيا ئامبىرىنى ساقلاپ ، پىلانلانغان زاكاز ۋە يوشۇرۇن جىددىي تەلەپلەرنى قاندۇرۇپ ، فابلارنىڭ ئاسراش ۋاقىت جەدۋىلىنى كېچىكتۈرمەي ئىجرا قىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
تېخنىكىلىق قوللاش ۋە ھەمكارلىق:ئىئون مەنبەلىرىنىڭ ناچار مەشغۇلات مۇھىتىنى چۈشىنىش ئۈچۈن ، كىڭدونغا ئوخشاش تەمىنلىگۈچىلەر ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار بىلەن ھەمكارلىشىپ ، - ئىشلەتكۈچىلەر بىلەن كونكرېت قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ئىنچىكە لايىھىلىرىنى ئەلالاشتۇرۇپ ، مۇلازىمەت ۋاقتىنى ئۇزارتالايدۇ ياكى نۇرنىڭ مۇقىملىقىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.
ئېلېكتر ۋاكۇئۇم زاپچاسلىرىنىڭ بىرىكىشى:يادرولۇقئېلېكتر نۇر مەنبەسى قىسمى، پىلاستىنكا چوقۇم باشقىلار بىلەن مۇكەممەل كۆرۈنۈشى كېرەكئېلېكتر ۋاكۇئۇم زاپچاسلىرى- مەنبە كامېر ، ئىزولياتور ۋە ئېلېكترود. كەسپىي تەمىنلىگۈچى مەھسۇلاتلىرىنىڭ يوچۇقسىز بىر گەۋدىلىشىش ۋە ئىشەنچلىك ئىقتىدارغا بولغان مېخانىك ۋە ئېلېكتر كۆرۈنمە يۈزى تەلىپىگە ماس كېلىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
V. خىرىس ۋە كەلگۈسى ئىستىقبالى
ئىئون كۆچۈرۈشنىڭ كەلگۈسى پىلاستىنكىلار ۋە ئۇلارنىڭ تەمىنلەش زەنجىرىدىن تېخىمۇ كۆپ تەلەپ قىلىدۇ:
ئىلغار تۈگۈن تەلەپلىرى:جەريان تۈگۈنى 3nm ۋە ئۇنىڭدىن تۆۋەنلەپ كىچىكلىسە ، بۇلغىنىش ۋە جەرياننىڭ ئۆزگىرىشى بەرداشلىق بېرىش ئىقتىدارى نۆلگە يېقىنلىشىدۇ. فىلمېنتلار چوقۇم - يۇقىرى ساپلىق ئۆلچىمى بىلەن دەرىجىدىن تاشقىرى - پاكىز مۇھىتتا ئىشلەپچىقىرىلىشى كېرەك.
ئالدىن پەرەز قىلىش بىر گەۋدىلەشتۈرۈش:فىلمېنت ئىقتىدارى (توك بېسىمى ، نۆۋەتتىكى يۈزلىنىش) توغرىسىدىكى سانلىق مەلۇماتلارنى ئالدىن تەھلىل قىلىشقا ئىشلىتىشكە بولىدۇ. ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار ، فابلار ۋە زاپچاس بىلەن تەمىنلىگۈچىلەر ئوتتۇرىسىدىكى قويۇق ھەمكارلىق بۇ مودېللارنى مۇكەممەللەشتۈرۈپ ، قەرەللىك ئالماشتۇرۇشنى دەل ۋاقتىدا ئەلالاشتۇرۇشقا ئايلاندۇرالايدۇ.
تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ چىدامچانلىقى:يېقىنقى دۇنياۋى ۋەقەلەر ھالقىلىق زاپچاسلار ئۈچۈن چىداملىق ، كۆپ - مەنبە تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ ئىستراتېگىيىلىك مۇھىملىقىنى تەكىتلىدى. ئاچقۇچلۇق رايونلاردىكى مۇقىم ، تېخنىكىلىق ئىقتىدار بىلەن تەمىنلىگۈچىلەر كەسىپنى مۇھىم بۇففېر ۋە جانلىقلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ.
VI. خۇلاسە: كەم بولسا بولمايدىغان تەركىب ، مۇھىم ھەمكارلىق
خۇلاسىلىگەندە ، ئېلېكترونلۇق نۇر دەستىسى ئاددىي ئىستېمال قىلىشقا قارىغاندا كۆپ. بۇ ئېنىقلىقئېلېكتر نۇر مەنبەسى قىسمىئۇنىڭ ئىشەنچلىك مەشغۇلاتى ئاساسىion implantationجەريان. ئۇنىڭ ئىقتىدارى ۋە مۆلچەرلىگىلى بولىدىغان ئۆمرى كۆپ - مىليون - دوللار كۆچۈرۈش قورالىنىڭ ۋاقتى ، چىقىرىش ۋە مەھسۇلات مىقدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
شۇڭلاشقا ، يۇقىرى - سۈپەتلىك فىلمېنتلارنىڭ مۇقىم تەمىنلىنىشىگە كاپالەتلىك قىلىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۈچۈن ئىستراتېگىيىلىك زۆرۈر. تەمىنلىگۈچىلەر ياقتۇرىدۇ
جۇجوۋ كىڭدون سانائەت ۋە سودا چەكلىك شىركىتى.بۇ ھالقىلىق مۇقىملىقنى تەمىنلەڭ. ئىزچىل ، ئىشەنچلىك مەھسۇلاتلارنى يەتكۈزۈش ۋە تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ ئىزچىللىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئارقىلىق ، ئۇلار ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار ۋە زاۋۇتلارغا تېخنىكا چېگرىسىنى ئىلگىرى سۈرۈشكە ئەھمىيەت بېرىدۇ ، ئۇلارنىڭ ئىئون مەنبەسىدىكى موھىم «يۈرەك سوقۇشى» نىڭ داۋاملىق ئۇرغۇتىدىغانلىقىغا ئىشىنىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ مۇرەككەپ ئۇسسۇلىدا ، بۇنداق ئىشەنچلىك ھەمكارلىق قۇلايلىق بولۇپلا قالماي ئۇلار ئالغا ئىلگىرىلەشنىڭ ئاساسى.
